一种干涉条纹垂直度测量方法
文献类型：专利
| 作者 | 丑小全 ; 李华 ; 张建 ; 李立波 ; 焦巧利 |
| 发表日期 | 2012-08-29 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN102252635 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 本发明提供一种干涉条纹垂直度测量方法，以解决现有技术测量干涉条纹垂直度判读精度不高的技术问题。本发明采用望远镜的分划十字对准干涉亮条纹(或暗条纹)的中心，在俯仰方向上自下而上(或自上而下)扫描干涉条纹范围α，然后望远镜的分划十字再次对准同一干涉亮条纹(或暗条纹)的中心，从二维转台上读数水平偏角β，根据扫描角度和相差值可算出垂直度值γ。本发明操作简便，克服了传统技术CCD靶面的不垂直度影响，提高了干涉仪干涉条纹垂直度的测量精度，扩大了检测干涉条纹的视场。 |
| 公开日期 | 2011-11-23 |
| 申请日期 | 2011-06-23 |
| 专利申请号 | CN201110170911 |
| 专利代理 | 徐平 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21137]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_系统工程部 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丑小全,李华,张建,等. 一种干涉条纹垂直度测量方法. CN102252635. 2012-08-29. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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