MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 孙克豪
|
| 学位类别 | 博士后 |
| 答辩日期 | 2001 |
| 授予单位 | 中国科学院力学研究所 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 赵亚溥 |
| 学位专业 | 固体力学 |
| 索取号 | 29973 |
| 学科主题 | 固体力学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-04-13 ; 2009-08-25 |
| 出处 | [博士后论文].北京.中国科学院力学研究所,2001 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/23728]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙克豪. MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究[D]. 北京. 中国科学院力学研究所. 2001. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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