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MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究

文献类型:学位论文

作者孙克豪
学位类别博士后
答辩日期2001
授予单位中国科学院力学研究所
授予地点北京
导师赵亚溥
学位专业固体力学
索取号29973
学科主题固体力学
语种中文
公开日期2009-04-13 ; 2009-08-25
出处[博士后论文].北京.中国科学院力学研究所,2001
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/23728]  
专题力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式
GB/T 7714
孙克豪. MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究[D]. 北京. 中国科学院力学研究所. 2001.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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