SIPOS 膜的结构组成
文献类型：期刊论文
| 作者 | 谭凌 ; 雷沛云 ; 梁骏吾 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 1995 |
| 卷号 | 16期号:12页码:890-896 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 公开日期 | 2014-05-14 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24955]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭凌,雷沛云,梁骏吾. SIPOS 膜的结构组成[J]. 半导体学报,1995,16(12):890-896. |
| APA | 谭凌,雷沛云,&梁骏吾.(1995).SIPOS 膜的结构组成.半导体学报,16(12),890-896. |
| MLA | 谭凌,et al."SIPOS 膜的结构组成".半导体学报 16.12(1995):890-896. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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