Fabrication and characterization of an SOI MEMS gyroscope
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhong Weiwei ; Han Guowei ; Si Chaowei ; Ning Jin ; Yang Fuhua |
| 刊名 | journal of semiconductors
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 34期号:6页码:064004 |
| 学科主题 | 微电子学 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2014-05-16 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24981]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhong Weiwei,Han Guowei,Si Chaowei,et al. Fabrication and characterization of an SOI MEMS gyroscope[J]. journal of semiconductors,2013,34(6):064004. |
| APA | Zhong Weiwei,Han Guowei,Si Chaowei,Ning Jin,&Yang Fuhua.(2013).Fabrication and characterization of an SOI MEMS gyroscope.journal of semiconductors,34(6),064004. |
| MLA | Zhong Weiwei,et al."Fabrication and characterization of an SOI MEMS gyroscope".journal of semiconductors 34.6(2013):064004. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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