用于辅助镀膜的霍尔等离子体源
文献类型:期刊论文
作者 | 尤大伟 ; 黄小刚 ; 武建军 |
刊名 | 光学仪器
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出版日期 | 2001 |
卷号 | 23期号:6页码:58-62 |
关键词 | 光学镀膜 离子束辅助镀膜 等离子体加速 |
ISSN号 | 1005-5630 |
其他题名 | The hall accelerater for assisted deposition |
通讯作者 | 北京8701信箱 |
中文摘要 | 论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称该源为端部霍尔加速器.最后给出了束流及均匀区实测结果. |
英文摘要 | The design of the hall accelerater and the op t imum magnet ic st ructu re w ere p resen ted.The permenen t magnet w as app lied. The pole pieces w ere arranged to ob tain the divergen tmagnetism and st rong magnet ism gradien t along axial direct ion. The design gives u s a good resu lt s. |
学科主题 | 空间技术 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.cssar.ac.cn/handle/122/630] ![]() |
专题 | 国家空间科学中心_空间技术部 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 尤大伟,黄小刚,武建军. 用于辅助镀膜的霍尔等离子体源[J]. 光学仪器,2001,23(6):58-62. |
APA | 尤大伟,黄小刚,&武建军.(2001).用于辅助镀膜的霍尔等离子体源.光学仪器,23(6),58-62. |
MLA | 尤大伟,et al."用于辅助镀膜的霍尔等离子体源".光学仪器 23.6(2001):58-62. |
入库方式: OAI收割
来源:国家空间科学中心
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