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用于辅助镀膜的霍尔等离子体源

文献类型:期刊论文

作者尤大伟 ; 黄小刚 ; 武建军
刊名光学仪器
出版日期2001
卷号23期号:6页码:58-62
关键词光学镀膜 离子束辅助镀膜 等离子体加速
ISSN号1005-5630
其他题名The hall accelerater for assisted deposition
通讯作者北京8701信箱
中文摘要论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称该源为端部霍尔加速器.最后给出了束流及均匀区实测结果.
英文摘要The design of the hall accelerater and the op t imum magnet ic st ructu re w ere p resen ted.The permenen t magnet w as app lied. The pole pieces w ere arranged to ob tain the divergen tmagnetism and st rong magnet ism gradien t along axial direct ion. The design gives u s a good resu lt s.
学科主题空间技术
语种中文
源URL[http://ir.cssar.ac.cn/handle/122/630]  
专题国家空间科学中心_空间技术部
推荐引用方式
GB/T 7714
尤大伟,黄小刚,武建军. 用于辅助镀膜的霍尔等离子体源[J]. 光学仪器,2001,23(6):58-62.
APA 尤大伟,黄小刚,&武建军.(2001).用于辅助镀膜的霍尔等离子体源.光学仪器,23(6),58-62.
MLA 尤大伟,et al."用于辅助镀膜的霍尔等离子体源".光学仪器 23.6(2001):58-62.

入库方式: OAI收割

来源:国家空间科学中心

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