压阻式高量程微加速度计的冲击校准
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郇勇 ; 张泰华; 杨业敏; 王钻开; 陆德仁
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| 刊名 | 传感器技术
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 22期号:11页码:78-80 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微加速度计 Hopkinson杆 校准 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 其他题名 | Shock calibration of piezoresistive high-g_n microaccelerometer |
| 中文摘要 | 采用体硅微机械加工技术和扩散技术，制作压阻式高量程微加速度计，设计量程为50000 g_n。芯片材料为单晶硅，采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度，使用Hopkinson杆在约40000 g_n的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情况下，被测微加速度计的灵敏度为1.26 μV/g_n。 |
| 学科主题 | 力学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1176396 |
| 公开日期 | 2007-06-15 ; 2007-12-05 ; 2009-06-23 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/16172]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郇勇,张泰华,杨业敏,等. 压阻式高量程微加速度计的冲击校准[J]. 传感器技术,2003,22(11):78-80. |
| APA | 郇勇,张泰华,杨业敏,王钻开,&陆德仁.(2003).压阻式高量程微加速度计的冲击校准.传感器技术,22(11),78-80. |
| MLA | 郇勇,et al."压阻式高量程微加速度计的冲击校准".传感器技术 22.11(2003):78-80. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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