上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭春磊 ; 孟祥雨 ; 吴衍青 ; 王勇 ; 邰仁忠 |
| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 2013-09-10 |
| 期号 | 9页码:41708 |
| 关键词 | X射线光学 空间相干性 波荡器 相干长度 |
| 中文摘要 | 同步辐射波荡器光源相干性能逐步提高,使得同步辐射相干光学实验对理论模拟的要求越来越高。对同步辐射光束线空间相干性进行有效的评估,可以指导相干光束线的设计及其相干光学实验的开展。本文利用部分相干光传播计算模型,数值模拟了上海光源软X射线干涉光刻光束线部分相干光的传播,理论和实验结果进行了比较,得到不同参数下的空间相干性,分析了误差产生原因。相干性的定量分析结果可以为实现空间相干性的定量控制提供依据。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-06-13 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/13546]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭春磊,孟祥雨,吴衍青,等. 上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究[J]. 核技术,2013(9):41708. |
| APA | 郭春磊,孟祥雨,吴衍青,王勇,&邰仁忠.(2013).上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究.核技术(9),41708. |
| MLA | 郭春磊,et al."上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究".核技术 .9(2013):41708. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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