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可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法

文献类型:专利

作者张学敏 ; 段战军 ; 闫肃 ; 魏儒义 ; 段嘉友 ; 李华 ; 张志军
发表日期2013-10-17
专利号CN103542790
专利类型发明
产权排序1
权利人中国科学院西安光学精密机械研究所
中文摘要本发明涉及一种可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法,该系统包括成像测量装置、立式转台、连接板、二维平移台以及光栅尺;二维平移台通过连接板设置在立式转台上并随立式转台绕立式转台的旋转轴进行旋转;待测离轴反射镜设置在二维平移台上并在二维平移台上进行二维运动;光栅尺的一端固定在连接板上,另一端止靠在平移台上;成像测量装置的光轴与立式转台的转轴是重合的。本发明提供了一种测量精度高的可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法。
公开日期2014-01-29
申请日期2013-10-17
专利证书号201310488807.X
专利申请号CN201310488807
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21637]  
专题西安光学精密机械研究所_系统工程部
推荐引用方式
GB/T 7714
张学敏,段战军,闫肃,等. 可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法. CN103542790. 2013-10-17.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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