一种大范围平面度的测量装置及其测量方法
文献类型：专利
| 作者 | 肖茂森 ; 吴易明 ; 李春艳 ; 刘爱敏 ; 陆卫国 |
| 发表日期 | 2014-03-12 |
| 专利号 | CN102607472 |
| 专利类型 | 发明 |
| 产权排序 | 1 |
| 权利人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 本发明提供一种大范围平面度的测量装置及其测量方法，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱 镜组以及可转动连接装置。测量时，斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面，通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度，其中高精度自准直仪所发出的平行光路，经过 两个斜方棱镜，在每个斜方棱镜的两次反射作用后，其出射光矢量和原入射光矢量相同，即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量，待测平面反 射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪，便可以实现对被测平面的平面度测量。 |
| 公开日期 | 2012-07-25 |
| 申请日期 | 2012-03-06 |
| 专利申请号 | CN201210056004 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21747]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_光学定向与测量技术研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖茂森,吴易明,李春艳,等. 一种大范围平面度的测量装置及其测量方法. CN102607472. 2014-03-12. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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