金属诱导晶化多晶硅薄膜及作为薄膜晶体管的特性研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 彭尚龙 |
| 学位类别 | 博士后 |
| 答辩日期 | 2014-08-15 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王占国 |
| 关键词 | 多晶硅薄膜 Ni诱导晶化 硅化物诱导晶化 薄膜晶体管 |
| 学位专业 | 材料科学与工程 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 公开日期 | 2014-08-14 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25144]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭尚龙. 金属诱导晶化多晶硅薄膜及作为薄膜晶体管的特性研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2014. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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