真空沉积碳膜的制备及其性能
文献类型：期刊论文
| 作者 | 徐锦芬 ; 方嘉宝 |
| 刊名 | 固体润滑
 |
| 出版日期 | 1986 |
| 期号 | 3页码:154-160 |
| ISSN号 | 1004-0595 |
| 中文摘要 | 本文是一篇文献综述, 介绍了真空沉积类金刚石碳膜(DLC膜)、无定性碳膜(a-c膜)和石墨膜的几种制备方法及设备, 以及这些膜的性能, 特别着重地介绍了与摩擦学应用有关的性能。 |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-08-20 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/6059]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_非现建制 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐锦芬,方嘉宝. 真空沉积碳膜的制备及其性能[J]. 固体润滑,1986(3):154-160. |
| APA | 徐锦芬,&方嘉宝.(1986).真空沉积碳膜的制备及其性能.固体润滑(3),154-160. |
| MLA | 徐锦芬,et al."真空沉积碳膜的制备及其性能".固体润滑 .3(1986):154-160. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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