在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 丛秋滋 ; 于德洋 ; 张平余 ; 李陇绪 |
| 刊名 | 真空科学与技术
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| 出版日期 | 1988 |
| 卷号 | 8期号:3页码:195-200 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| 中文摘要 | 本文用X射线衍射方法研究离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性。该膜是在起始底材温度(Ts)低于200 ℃以下离子镀在9Cr18不锈钢上。本文揭示在其他离子镀参数一定的条件下, 底材温度Ts愈低, TiN膜愈呈现(220)择优取向, 伴随着晶粒变小、晶格缺陷增大、临界负荷降低等缺点; 而当Ts较高时, TiN膜呈现(200)择优取向, 此时膜的性能优越得多。 |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-08-20 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/6152]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_非现建制 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丛秋滋,于德洋,张平余,等. 在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性[J]. 真空科学与技术,1988,8(3):195-200. |
| APA | 丛秋滋,于德洋,张平余,&李陇绪.(1988).在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性.真空科学与技术,8(3),195-200. |
| MLA | 丛秋滋,et al."在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性".真空科学与技术 8.3(1988):195-200. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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