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高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点

文献类型:期刊论文

作者余健业; 谢信能; 刘廷壁; 邵曼君; 黄兰友
刊名电子显微学报
出版日期1997
期号01页码:59-66
关键词环境扫描电镜 成像原理 真空系统 环境探测系统 高温样品台
中文摘要本文简要地叙述了KYKY1500高温环境扫描电镜的一些基本概念:气体的电离效应,背底噪音,偏电压对信号电流的影响及图像形成的原理:并简单地介绍了本电镜的三个主要特殊系统(三级真空系统,环境信号探测系统及高温样品台)的结构与特点,此外,又给出了高温样品台中加热炉丝磁场对电子轨迹影响的计算结果,为选用加热电源的技术指标确定了理论根据
公开日期2014-08-27
源URL[http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/8563]  
专题过程工程研究所_研究所(批量导入)
推荐引用方式
GB/T 7714
余健业,谢信能,刘廷壁,等. 高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点[J]. 电子显微学报,1997(01):59-66.
APA 余健业,谢信能,刘廷壁,邵曼君,&黄兰友.(1997).高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点.电子显微学报(01),59-66.
MLA 余健业,et al."高温环境扫描电镜(KYKY1500)Ⅰ.成像原理及仪器特点".电子显微学报 .01(1997):59-66.

入库方式: OAI收割

来源:过程工程研究所

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