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PCVD法制取β-SiC超微粉末

文献类型:期刊论文

作者郭家银; 郑国梁
刊名化工冶金
出版日期1991
期号01页码:1-7
关键词等离子体 气相化学反应 β-SiC 超微陶瓷粉末 烧结
中文摘要本文以 CH_3SiCl_3为原料,利用 PCVD(Plasma Chemical Vapor Depo-sition)法制取了β—SiC 超微陶瓷粉末。平均粒径<0.1μm,SiC 含量可达到96%,氧含量可小于1.5%。实验探讨了粉末成分与诸因素关系;提供了粉末烧结性能的初步试验研究结果.
收录类别CSCD
CSCD记录号CSCD:149358
公开日期2014-08-27
源URL[http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/8791]  
专题过程工程研究所_研究所(批量导入)
推荐引用方式
GB/T 7714
郭家银,郑国梁. PCVD法制取β-SiC超微粉末[J]. 化工冶金,1991(01):1-7.
APA 郭家银,&郑国梁.(1991).PCVD法制取β-SiC超微粉末.化工冶金(01),1-7.
MLA 郭家银,et al."PCVD法制取β-SiC超微粉末".化工冶金 .01(1991):1-7.

入库方式: OAI收割

来源:过程工程研究所

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