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在负载线圈以上区域中电感耦合氩等离子体的衰变现象

文献类型:期刊论文

作者黄矛; 刘克玲
刊名光谱学与光谱分析
出版日期1985
期号06页码:33
关键词氩等离子体 双极扩散 径向分布 电子密度 辐射复合 理论模型 电感耦合 高度范围 加热效应
中文摘要<正>本文提出了计算电感耦合氩等离子体的温度径向分布及电子密度径向分布的理论模型,计算了0—20mm的观察高度范围內的温度径向分布及电子密度径向分布,该模型考虑了热传导,双极扩散、碰撞复合、辐射复合、电离、轴向对流及热涨冷缩过程。理论计算的结果表明,在负載线圈以上的区域内,热传导和双极扩散是衰变现象的重要因素。随着观察高度的增加,温度降低,在高温等离子区域中的压缩加热效应对维持等离子放电起着重要作用。本文也讨论了辐射对流对等离子中心区域温度及电子密度的升高,即对等离子衰变现象所起的重要作用的可能性。
公开日期2014-08-27
源URL[http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/8858]  
专题过程工程研究所_研究所(批量导入)
推荐引用方式
GB/T 7714
黄矛,刘克玲. 在负载线圈以上区域中电感耦合氩等离子体的衰变现象[J]. 光谱学与光谱分析,1985(06):33.
APA 黄矛,&刘克玲.(1985).在负载线圈以上区域中电感耦合氩等离子体的衰变现象.光谱学与光谱分析(06),33.
MLA 黄矛,et al."在负载线圈以上区域中电感耦合氩等离子体的衰变现象".光谱学与光谱分析 .06(1985):33.

入库方式: OAI收割

来源:过程工程研究所

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