等离子体气相合成碳化硅超细粉的热力学计算与分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邢阳川; 郑国梁 |
| 刊名 | 化工冶金
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| 出版日期 | 1992 |
| 期号 | 01页码:1-9 |
| 关键词 | 热力学计算 碳化硅 等离子体 气相合成 超细粉末 |
| 中文摘要 | 本文使用SOLGAS软件,对以三氯甲基硅烷为原料的等离子气相合成β—SiC超细陶瓷粉未的多相多组份系统进行了热力学平衡计算.在以氩氢及氮氢为等离子工作气和总压为1个大气压时,计算了体系的参数对体系平衡组成的影响.计算结果表明,温度、摩尔比H_2/CH_3SiCl_3及N_2/CH_3SiCl_3都对体系有较大的影响.为了得到较纯净的碳化硅产品,需要严格控制体系的温度及各反应物的浓度等参数.对H_2—CH_3SiCl_3—Ar及H_2—CH_3SiCl_3—N_2体系,都存在一最佳温度,以此温度下可以得到最大产率的碳化硅;加大氢气的比例,可以阻止游离碳的生成,从而得到较纯净的产品.计算结果还表明,可用氮气代替氩气来合成碳化硅.本文还把计算结果与实验结果进行了比较,并分析了它们之间产生差别的原因. |
| 收录类别 | CSCD |
| CSCD记录号 | CSCD:178127 |
| 公开日期 | 2014-08-27 |
| 源URL | [http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/9437]  |
| 专题 | 过程工程研究所_研究所（批量导入） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邢阳川,郑国梁. 等离子体气相合成碳化硅超细粉的热力学计算与分析[J]. 化工冶金,1992(01):1-9. |
| APA | 邢阳川,&郑国梁.(1992).等离子体气相合成碳化硅超细粉的热力学计算与分析.化工冶金(01),1-9. |
| MLA | 邢阳川,et al."等离子体气相合成碳化硅超细粉的热力学计算与分析".化工冶金 .01(1992):1-9. |
入库方式： OAI收割
来源：过程工程研究所
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