一种在线超纯氢分析装置
文献类型：专利
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| 作者 | 徐恒泳 ; 孟繁琼 ; 唐春华 ; 董恩宁 ; 邵炜 |
| 发表日期 | 2014-05-21 |
| 专利国别 | CN |
| 专利号 | CN201320834852.1 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型公开了一种在线超纯氢分析装置，该装置包括样品气切换阀、切换进样阀、进样阀、分析色谱柱、检测器等组成，可以对超纯氢生产过程中的原料气和产品气同时进行在线分析，检测范围大，可以覆盖从常量检测、微量检测到ppb级的痕量检测。本装置自动化程度高、检测范围大、灵敏度高，在超纯氢生产中可对产品气杂质含量和原料气含量进行同时在线分析。 |
| 是否PCT专利 | 否 |
| 公开日期 | 2014-05-21 |
| 申请日期 | 2013-12-15 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN201320834852.1 |
| 专利代理 | 马驰 |
| 源URL | [http://159.226.238.44/handle/321008/120539]  |
| 专题 | 大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐恒泳, 孟繁琼, 唐春华,等. 一种在线超纯氢分析装置, 一种在线超纯氢分析装置. CN201320834852.1. 2014-05-21. |
入库方式： OAI收割
来源：大连化学物理研究所
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