一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法
文献类型：专利
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| 作者 | 郭庆 ; 任泽峰 |
| 发表日期 | 2014 |
| 专利国别 | CN |
| 专利号 | CN201210204296.X |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 是否PCT专利 | 否 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法，采用以下方法：将抽真空设备接入外部的真空容器，通过真空泵抽气，检漏无漏点；利用外部加热的方式烘烤抽真空设备和外部的真空容器，达到超高真空要求，依次向液氮薄壁桶注入液氮，待液氮薄壁筒和无氧铜套温度恒定后（～-180℃）；使用钛升华泵90秒，稳定约半小时，可实现真空腔室真空≤15×10-13torr。本发明的优点是操作简便，成本低，效率高。 |
| 公开日期 | 2014-01-15 |
| 申请日期 | 2012-06-20 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN201210204296.X |
| 源URL | [http://159.226.238.44/handle/321008/120742]  |
| 专题 | 大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭庆,任泽峰. 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法, 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法. CN201210204296.X. 2014-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：大连化学物理研究所
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