纳米粒径RGTO SnO2薄膜的制备及气敏特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张阳 ; 何秀丽 ; 高晓光 ; 李建平 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 26期号:2页码:118-122 |
| 关键词 | 二氧化锡薄膜 纳米粒子 RGTO 溅射气压 气敏特性 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2717]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张阳,何秀丽,高晓光,等. 纳米粒径RGTO SnO2薄膜的制备及气敏特性研究[J]. 真空科学与技术学报,2007,26(2):118-122. |
| APA | 张阳,何秀丽,高晓光,&李建平.(2007).纳米粒径RGTO SnO2薄膜的制备及气敏特性研究.真空科学与技术学报,26(2),118-122. |
| MLA | 张阳,et al."纳米粒径RGTO SnO2薄膜的制备及气敏特性研究".真空科学与技术学报 26.2(2007):118-122. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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