谐振式微加速度传感器的有限元分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈健 ; 陈德勇 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 20期号:1页码:96-100 |
| 关键词 | 微机械电子系统 谐振式微加速度传感器 有限元模拟 非完全匹配的双端固定音叉 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2723]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈健,陈德勇. 谐振式微加速度传感器的有限元分析[J]. 传感技术学报,2007,20(1):96-100. |
| APA | 陈健,&陈德勇.(2007).谐振式微加速度传感器的有限元分析.传感技术学报,20(1),96-100. |
| MLA | 陈健,et al."谐振式微加速度传感器的有限元分析".传感技术学报 20.1(2007):96-100. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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