一种新颖的微杠杆结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈健 ; 陈德勇 ; 王军波 |
| 刊名 | 传感技术学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 20期号:2页码:274-278 |
| 关键词 | 微机械电子系统 微杠杆结构 谐振式微加速度传感器 有限元模拟 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2725]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈健,陈德勇,王军波. 一种新颖的微杠杆结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用[J]. 传感技术学报,2007,20(2):274-278. |
| APA | 陈健,陈德勇,&王军波.(2007).一种新颖的微杠杆结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用.传感技术学报,20(2),274-278. |
| MLA | 陈健,et al."一种新颖的微杠杆结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用".传感技术学报 20.2(2007):274-278. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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