基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈健 ; 陈德勇 ; 王军波 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 20期号:3页码:516-518 |
| 关键词 | 微机械电子系统 电热驱动谐振式微加速度传感器 三梁结构 交叉灵敏度 有限元模拟 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2727]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈健,陈德勇,王军波. 基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究[J]. 传感技术学报,2007,20(3):516-518. |
| APA | 陈健,陈德勇,&王军波.(2007).基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究.传感技术学报,20(3),516-518. |
| MLA | 陈健,et al."基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究".传感技术学报 20.3(2007):516-518. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。