MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 汪祖民 ; 韩泾鸿 ; 任振兴 ; 杨海钢 ; 夏善红 |
| 刊名 | 电子器件
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 30期号:3页码:741-744 |
| 关键词 | 离子敏场效应管 功能膜 微电子机械系统 五氧化二钽 聚四氟乙烯 |
| ISSN号 | 1005-9490 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2751]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪祖民,韩泾鸿,任振兴,等. MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究[J]. 电子器件,2007,30(3):741-744. |
| APA | 汪祖民,韩泾鸿,任振兴,杨海钢,&夏善红.(2007).MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究.电子器件,30(3),741-744. |
| MLA | 汪祖民,et al."MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究".电子器件 30.3(2007):741-744. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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