MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 庞程 ; 赵湛 ; 杜利东 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 44期号:7页码:249-251 |
| 关键词 | 电容压力传感器 各向异性腐蚀 阳极键合 反应离子深刻蚀 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2777]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 庞程,赵湛,杜利东. MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制[J]. 微纳电子技术,2007,44(7):249-251. |
| APA | 庞程,赵湛,&杜利东.(2007).MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制.微纳电子技术,44(7),249-251. |
| MLA | 庞程,et al."MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制".微纳电子技术 44.7(2007):249-251. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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