一种硅梁谐振加速度结构设计与模拟分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈德勇 ; 陈健 ; 毋正伟 ; 王军波 ; 陈李 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 44期号:7页码:282-284 |
| 关键词 | 谐振加速度计 微杠杠结构 差分输出 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2791]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈德勇,陈健,毋正伟,等. 一种硅梁谐振加速度结构设计与模拟分析[J]. 微纳电子技术,2007,44(7):282-284. |
| APA | 陈德勇,陈健,毋正伟,王军波,&陈李.(2007).一种硅梁谐振加速度结构设计与模拟分析.微纳电子技术,44(7),282-284. |
| MLA | 陈德勇,et al."一种硅梁谐振加速度结构设计与模拟分析".微纳电子技术 44.7(2007):282-284. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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