两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 叶超 ; 陈贤祥 ; 彭春荣 ; 陶虎 ; 夏善红 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 27期号:9页码:1672-1675 |
| 关键词 | 热驱动结构 V型梁阵列 位移放大机构 电场传感器 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2851]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶超,陈贤祥,彭春荣,等. 两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用[J]. 半导体学报,2006,27(9):1672-1675. |
| APA | 叶超,陈贤祥,彭春荣,陶虎,&夏善红.(2006).两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用.半导体学报,27(9),1672-1675. |
| MLA | 叶超,et al."两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用".半导体学报 27.9(2006):1672-1675. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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