阴极敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陶新昕 ; 夏善红 ; 苏杰 ; 陈绍凤 |
| 刊名 | 电子与信息学报
 |
| 出版日期 | 2001 |
| 卷号 | 23期号:1页码:81-84 |
| 关键词 | 真空微电子 压力传感器 |
| ISSN号 | 1009-5896 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2857]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陶新昕,夏善红,苏杰,等. 阴极敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究[J]. 电子与信息学报,2001,23(1):81-84. |
| APA | 陶新昕,夏善红,苏杰,&陈绍凤.(2001).阴极敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究.电子与信息学报,23(1),81-84. |
| MLA | 陶新昕,et al."阴极敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究".电子与信息学报 23.1(2001):81-84. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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