体硅加工微电极传感器研究
文献类型:期刊论文
作者 | 刘敬伟 ; 边超 ; 韩泾鸿 ; 陈绍凤 ; 白强 ; 夏善红 |
刊名 | 仪器仪表学报
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出版日期 | 2004 |
卷号 | 25期号:4页码:144-147 |
关键词 | 传感器 电流型 微电极 体硅加工 微反应池 |
ISSN号 | 0254-3087 |
公开日期 | 2010-05-19 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2861] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘敬伟,边超,韩泾鸿,等. 体硅加工微电极传感器研究[J]. 仪器仪表学报,2004,25(4):144-147. |
APA | 刘敬伟,边超,韩泾鸿,陈绍凤,白强,&夏善红.(2004).体硅加工微电极传感器研究.仪器仪表学报,25(4),144-147. |
MLA | 刘敬伟,et al."体硅加工微电极传感器研究".仪器仪表学报 25.4(2004):144-147. |
入库方式: OAI收割
来源:电子学研究所
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