基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真
文献类型：期刊论文
| 作者 | 裴强 ; 夏善红 ; 龚超 ; 白强 ; 陈绍凤 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 40期号:7页码:388-390 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微型 电场传感器 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2865]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 裴强,夏善红,龚超,等. 基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真[J]. 微纳电子技术,2003,40(7):388-390. |
| APA | 裴强,夏善红,龚超,白强,&陈绍凤.(2003).基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真.微纳电子技术,40(7),388-390. |
| MLA | 裴强,et al."基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真".微纳电子技术 40.7(2003):388-390. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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