基于SU8胶的微针执行器的研制
文献类型:期刊论文
作者 | 秦宁 ; 赵湛 ; 张博军 ; 陈绍凤 ; 夏善红 |
刊名 | 仪器仪表学报
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出版日期 | 2004 |
卷号 | 25期号:4页码:104-106 |
关键词 | SI-8胶 微针执行器 MEMS |
ISSN号 | 0254-3087 |
公开日期 | 2010-05-19 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2873] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦宁,赵湛,张博军,等. 基于SU8胶的微针执行器的研制[J]. 仪器仪表学报,2004,25(4):104-106. |
APA | 秦宁,赵湛,张博军,陈绍凤,&夏善红.(2004).基于SU8胶的微针执行器的研制.仪器仪表学报,25(4),104-106. |
MLA | 秦宁,et al."基于SU8胶的微针执行器的研制".仪器仪表学报 25.4(2004):104-106. |
入库方式: OAI收割
来源:电子学研究所
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