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基于SU8胶的微针执行器的研制

文献类型:期刊论文

作者秦宁 ; 赵湛 ; 张博军 ; 陈绍凤 ; 夏善红
刊名仪器仪表学报
出版日期2004
卷号25期号:4页码:104-106
关键词SI-8胶 微针执行器 MEMS
ISSN号0254-3087
公开日期2010-05-19
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/2873]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
秦宁,赵湛,张博军,等. 基于SU8胶的微针执行器的研制[J]. 仪器仪表学报,2004,25(4):104-106.
APA 秦宁,赵湛,张博军,陈绍凤,&夏善红.(2004).基于SU8胶的微针执行器的研制.仪器仪表学报,25(4),104-106.
MLA 秦宁,et al."基于SU8胶的微针执行器的研制".仪器仪表学报 25.4(2004):104-106.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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