热驱动微型电场传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈贤祥 ; 彭春荣 ; 白强 ; 陈绍凤 ; 夏善红 |
| 刊名 | 中国机械工程
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 16期号:z1页码:161-163 |
| 关键词 | 微型电场传感器 热驱动 有限元模拟 微细加工 |
| ISSN号 | 1004-132X |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2877]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈贤祥,彭春荣,白强,等. 热驱动微型电场传感器[J]. 中国机械工程,2005,16(z1):161-163. |
| APA | 陈贤祥,彭春荣,白强,陈绍凤,&夏善红.(2005).热驱动微型电场传感器.中国机械工程,16(z1),161-163. |
| MLA | 陈贤祥,et al."热驱动微型电场传感器".中国机械工程 16.z1(2005):161-163. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。