TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曲炳郡 ; 李路明 ; 王立鼎 ; 夏善红 |
| 刊名 | 仪器仪表学报
 |
| 出版日期 | 2001 |
| 卷号 | 22期号:4页码:307-308 |
| 关键词 | TiNi 形状记忆薄膜 光刻 Pt薄膜 MEMS |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2885]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲炳郡,李路明,王立鼎,等. TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺[J]. 仪器仪表学报,2001,22(4):307-308. |
| APA | 曲炳郡,李路明,王立鼎,&夏善红.(2001).TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺.仪器仪表学报,22(4),307-308. |
| MLA | 曲炳郡,et al."TiNi形状记忆薄膜的光刻新工艺".仪器仪表学报 22.4(2001):307-308. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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