聚酰亚胺振动膜微型电场传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 龚超 ; 夏善红 ; 邓凯 ; 白强 ; 陈绍凤 |
| 刊名 | 微纳电子技术
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 41期号:12页码:41-44 |
| 关键词 | 电场传感器 有限元分析 微机电系统 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2895]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 龚超,夏善红,邓凯,等. 聚酰亚胺振动膜微型电场传感器[J]. 微纳电子技术,2004,41(12):41-44. |
| APA | 龚超,夏善红,邓凯,白强,&陈绍凤.(2004).聚酰亚胺振动膜微型电场传感器.微纳电子技术,41(12),41-44. |
| MLA | 龚超,et al."聚酰亚胺振动膜微型电场传感器".微纳电子技术 41.12(2004):41-44. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。