毛细作用驱动的MEMS流体自组装模拟仿真
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吕曜 ; 夏善红 ; 刘梅 ; 张建刚 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 43期号:5页码:228-232 |
| 关键词 | 自组装 微机电系统 毛细作用 模拟仿真 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2909]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕曜,夏善红,刘梅,等. 毛细作用驱动的MEMS流体自组装模拟仿真[J]. 微纳电子技术,2006,43(5):228-232. |
| APA | 吕曜,夏善红,刘梅,&张建刚.(2006).毛细作用驱动的MEMS流体自组装模拟仿真.微纳电子技术,43(5),228-232. |
| MLA | 吕曜,et al."毛细作用驱动的MEMS流体自组装模拟仿真".微纳电子技术 43.5(2006):228-232. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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