SU8微针执行器的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 秦宁 ; 赵湛 ; 陈绍凤 ; 夏善红 |
| 刊名 | 微纳电子技术
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 40期号:7页码:474-476 |
| 关键词 | SU-8胶 微针执行器 MEMS |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2947]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦宁,赵湛,陈绍凤,等. SU8微针执行器的研究[J]. 微纳电子技术,2003,40(7):474-476. |
| APA | 秦宁,赵湛,陈绍凤,&夏善红.(2003).SU8微针执行器的研究.微纳电子技术,40(7),474-476. |
| MLA | 秦宁,et al."SU8微针执行器的研究".微纳电子技术 40.7(2003):474-476. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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