硅尖阵列敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈绍凤 ; 夏善红 |
| 刊名 | 液晶与显示
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 17期号:1页码:34-36 |
| 关键词 | 真空微电子 压力传感器 模拟测试 压力特性 测试 |
| ISSN号 | 1007-2780 |
| 公开日期 | 2010-05-19 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/2951]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈绍凤,夏善红. 硅尖阵列敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试[J]. 液晶与显示,2002,17(1):34-36. |
| APA | 陈绍凤,&夏善红.(2002).硅尖阵列敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试.液晶与显示,17(1),34-36. |
| MLA | 陈绍凤,et al."硅尖阵列敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试".液晶与显示 17.1(2002):34-36. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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