基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 武宇，赵湛，方震，张博军 |
| 刊名 | 仪器仪表学报
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 25期号:3页码:101-104 |
| 关键词 | 集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿 度 气 压 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3334]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武宇，赵湛，方震，张博军. 基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器[J]. 仪器仪表学报,2004,25(3):101-104. |
| APA | 武宇，赵湛，方震，张博军.(2004).基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器.仪器仪表学报,25(3),101-104. |
| MLA | 武宇，赵湛，方震，张博军."基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器".仪器仪表学报 25.3(2004):101-104. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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