基于MEMS技术的集成温湿传感器研制
文献类型:期刊论文
作者 | 方震,武宇,赵湛,张博军 |
刊名 | 仪器仪表学报
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出版日期 | 2004 |
卷号 | 25期号:z3页码:123-125 |
关键词 | MEMS技术 集成温湿传感器 |
ISSN号 | 0254-3087 |
公开日期 | 2010-09-02 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3342] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 方震,武宇,赵湛,张博军. 基于MEMS技术的集成温湿传感器研制[J]. 仪器仪表学报,2004,25(z3):123-125. |
APA | 方震,武宇,赵湛,张博军.(2004).基于MEMS技术的集成温湿传感器研制.仪器仪表学报,25(z3),123-125. |
MLA | 方震,武宇,赵湛,张博军."基于MEMS技术的集成温湿传感器研制".仪器仪表学报 25.z3(2004):123-125. |
入库方式: OAI收割
来源:电子学研究所
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