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基于MEMS技术的集成温湿传感器研制

文献类型:期刊论文

作者方震,武宇,赵湛,张博军
刊名仪器仪表学报
出版日期2004
卷号25期号:z3页码:123-125
关键词MEMS技术 集成温湿传感器
ISSN号0254-3087
公开日期2010-09-02
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/3342]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
方震,武宇,赵湛,张博军. 基于MEMS技术的集成温湿传感器研制[J]. 仪器仪表学报,2004,25(z3):123-125.
APA 方震,武宇,赵湛,张博军.(2004).基于MEMS技术的集成温湿传感器研制.仪器仪表学报,25(z3),123-125.
MLA 方震,武宇,赵湛,张博军."基于MEMS技术的集成温湿传感器研制".仪器仪表学报 25.z3(2004):123-125.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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