MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张博军，赵湛，陈绍凤 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 40期号:7页码:385-387 |
| 关键词 | MEMS执行器 电铸 永磁体阵列 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3348]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张博军，赵湛，陈绍凤. MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备[J]. 微纳电子技术,2003,40(7):385-387. |
| APA | 张博军，赵湛，陈绍凤.(2003).MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备.微纳电子技术,40(7),385-387. |
| MLA | 张博军，赵湛，陈绍凤."MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备".微纳电子技术 40.7(2003):385-387. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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