基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘泳宏，赵湛 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 19期号:5页码:1978-1982 |
| 关键词 | 生物传感器 介电泳 反应离子刻蚀 NEMS技术 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3350]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘泳宏，赵湛. 基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究[J]. 传感技术学报,2006,19(5):1978-1982. |
| APA | 刘泳宏，赵湛.(2006).基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究.传感技术学报,19(5),1978-1982. |
| MLA | 刘泳宏，赵湛."基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究".传感技术学报 19.5(2006):1978-1982. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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