基于Si3+N4+薄膜的压力传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王奇，赵湛，耿照新，方震，曾欢欢，张博军 |
| 刊名 | 传感器与微系统
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 25期号:3页码:71-73 |
| 关键词 | 微机电系统 压力传感器 氮化硅 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3358]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王奇，赵湛，耿照新，方震，曾欢欢，张博军. 基于Si3+N4+薄膜的压力传感器[J]. 传感器与微系统,2006,25(3):71-73. |
| APA | 王奇，赵湛，耿照新，方震，曾欢欢，张博军.(2006).基于Si3+N4+薄膜的压力传感器.传感器与微系统,25(3),71-73. |
| MLA | 王奇，赵湛，耿照新，方震，曾欢欢，张博军."基于Si3+N4+薄膜的压力传感器".传感器与微系统 25.3(2006):71-73. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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