基于MEMS技术的温湿压集成传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军 |
| 刊名 | 中国机械工程
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 16期号:z1页码:166-168 |
| 关键词 | MEMS 温湿压集成传感器 氮化硅 薄膜 |
| ISSN号 | 1004-132X |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3366]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军. 基于MEMS技术的温湿压集成传感器[J]. 中国机械工程,2005,16(z1):166-168. |
| APA | 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军.(2005).基于MEMS技术的温湿压集成传感器.中国机械工程,16(z1),166-168. |
| MLA | 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军."基于MEMS技术的温湿压集成传感器".中国机械工程 16.z1(2005):166-168. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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