聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曾欢欢，赵湛，王奇，方震，张博军 |
| 刊名 | 中国机械工程
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 16期号:z1页码:196-199 |
| 关键词 | 湿度传感器 聚酰亚胺(PI) 电容式 反应离子刻蚀(RIE) 边缘效应 |
| ISSN号 | 1004-132X |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3368]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾欢欢，赵湛，王奇，方震，张博军. 聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进[J]. 中国机械工程,2005,16(z1):196-199. |
| APA | 曾欢欢，赵湛，王奇，方震，张博军.(2005).聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进.中国机械工程,16(z1),196-199. |
| MLA | 曾欢欢，赵湛，王奇，方震，张博军."聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进".中国机械工程 16.z1(2005):196-199. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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