基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军 |
| 刊名 | 电子器件
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 29期号:3页码:726-729 |
| 关键词 | MEMS 压力传感器 氮化硅 温度 补偿 |
| ISSN号 | 1005-9490 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3370]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军. 基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿[J]. 电子器件,2006,29(3):726-729. |
| APA | 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军.(2006).基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿.电子器件,29(3),726-729. |
| MLA | 王奇，赵湛，曾欢欢，方震，张博军."基于氮化硅的压力传感器以及算法补偿".电子器件 29.3(2006):726-729. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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