探空集成传感器设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 武宇，方震，赵湛，陈超，张博军 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 40期号:7页码:583-586 |
| 关键词 | 集成传感器 MEMS 导热检测法 湿度 气压 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3374]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武宇，方震，赵湛，陈超，张博军. 探空集成传感器设计[J]. 微纳电子技术,2003,40(7):583-586. |
| APA | 武宇，方震，赵湛，陈超，张博军.(2003).探空集成传感器设计.微纳电子技术,40(7),583-586. |
| MLA | 武宇，方震，赵湛，陈超，张博军."探空集成传感器设计".微纳电子技术 40.7(2003):583-586. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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