热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 范兆岩，崔大付，陈德勇，高晓童 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 24期号:8页码:866-870 |
| 关键词 | 硅梁 数据采集系统 闭环谐振 |
| ISSN号 | 1674-4926 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3400]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范兆岩，崔大付，陈德勇，高晓童. 热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统[J]. 半导体学报,2003,24(8):866-870. |
| APA | 范兆岩，崔大付，陈德勇，高晓童.(2003).热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统.半导体学报,24(8),866-870. |
| MLA | 范兆岩，崔大付，陈德勇，高晓童."热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统".半导体学报 24.8(2003):866-870. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。