微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈健，陈德勇，王军波 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 4期号:3页码:245-246 |
| 关键词 | 微机械电子系统 谐振式气体流量传感器 有限元模拟 流体-结构耦合 |
| ISSN号 | 1672-6030 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3406]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈健，陈德勇，王军波. 微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟[J]. 纳米技术与精密工程,2006,4(3):245-246. |
| APA | 陈健，陈德勇，王军波.(2006).微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟.纳米技术与精密工程,4(3),245-246. |
| MLA | 陈健，陈德勇，王军波."微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟".纳米技术与精密工程 4.3(2006):245-246. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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