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微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟

文献类型:期刊论文

作者陈健,陈德勇,王军波
刊名纳米技术与精密工程
出版日期2006
卷号4期号:3页码:245-246
关键词微机械电子系统 谐振式气体流量传感器 有限元模拟 流体-结构耦合
ISSN号1672-6030
公开日期2010-09-02
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/3406]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
陈健,陈德勇,王军波. 微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟[J]. 纳米技术与精密工程,2006,4(3):245-246.
APA 陈健,陈德勇,王军波.(2006).微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟.纳米技术与精密工程,4(3),245-246.
MLA 陈健,陈德勇,王军波."微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟".纳米技术与精密工程 4.3(2006):245-246.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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