微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟
文献类型:期刊论文
作者 | 陈健,陈德勇,王军波 |
刊名 | 纳米技术与精密工程
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出版日期 | 2006 |
卷号 | 4期号:3页码:245-246 |
关键词 | 微机械电子系统 谐振式气体流量传感器 有限元模拟 流体-结构耦合 |
ISSN号 | 1672-6030 |
公开日期 | 2010-09-02 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3406] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈健,陈德勇,王军波. 微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟[J]. 纳米技术与精密工程,2006,4(3):245-246. |
APA | 陈健,陈德勇,王军波.(2006).微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟.纳米技术与精密工程,4(3),245-246. |
MLA | 陈健,陈德勇,王军波."微谐振式低速气体流速传感器的有限元模拟".纳米技术与精密工程 4.3(2006):245-246. |
入库方式: OAI收割
来源:电子学研究所
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