微结构谐振梁式压力传感器研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈德勇，崔大付，王利，韩泾鸿 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2000 |
| 卷号 | 13期号:4页码:258-259 |
| 关键词 | 微电子机械加工硅梁谐振器谐振式压力传感器 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3408]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈德勇，崔大付，王利，韩泾鸿. 微结构谐振梁式压力传感器研究[J]. 传感技术学报,2000,13(4):258-259. |
| APA | 陈德勇，崔大付，王利，韩泾鸿.(2000).微结构谐振梁式压力传感器研究.传感技术学报,13(4),258-259. |
| MLA | 陈德勇，崔大付，王利，韩泾鸿."微结构谐振梁式压力传感器研究".传感技术学报 13.4(2000):258-259. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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