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基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模

文献类型:期刊论文

作者陈健,陈德勇,王军波
刊名纳米技术与精密工程
出版日期2006
卷号4期号:2页码:119-120
关键词微机械电子系统 谐振式微加速度传感器 理论建模 有限元模拟 交叉轴串扰
ISSN号1672-6030
公开日期2010-09-02
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/3410]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
陈健,陈德勇,王军波. 基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模[J]. 纳米技术与精密工程,2006,4(2):119-120.
APA 陈健,陈德勇,王军波.(2006).基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模.纳米技术与精密工程,4(2),119-120.
MLA 陈健,陈德勇,王军波."基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模".纳米技术与精密工程 4.2(2006):119-120.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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