微型硅谐振式压力传感器的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈德勇，崔大付，王利，于中尧，韩泾鸿 |
| 刊名 | 传感器技术
 |
| 出版日期 | 2001 |
| 卷号 | 20期号:2页码:49-51 |
| 关键词 | 微电子机械加工技术 硅谐振梁 压力传感器 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3416]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈德勇，崔大付，王利，于中尧，韩泾鸿. 微型硅谐振式压力传感器的研制[J]. 传感器技术,2001,20(2):49-51. |
| APA | 陈德勇，崔大付，王利，于中尧，韩泾鸿.(2001).微型硅谐振式压力传感器的研制.传感器技术,20(2),49-51. |
| MLA | 陈德勇，崔大付，王利，于中尧，韩泾鸿."微型硅谐振式压力传感器的研制".传感器技术 20.2(2001):49-51. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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